CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு

CVD SiC பூச்சு என்பது அடிப்படையில் கிராஃபைட்டின் மீது படியவைக்கப்படும் ஒரு சிலிக்கான் கார்பைடு அடுக்கு ஆகும். வெப்பநிலை மற்றும் தூய்மை ஆகிய இரண்டுமே முக்கியமான எபிடாக்ஸி கருவிகளில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. உண்மையான உற்பத்தித் தொடர்களில், AIXTRON, ASM/LPE, Veeco போன்ற நிறுவனங்களின் அமைப்புகளிலும், சில AMAT தொடர்பான தளங்களிலும் இதை நீங்கள் அடிக்கடி காணலாம். இதன் பயனுள்ள அம்சம், அதன் வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறன் மட்டுமல்ல, நீண்ட நேரச் செயல்பாடுகளின் போது கிடைக்கும் ஒட்டுமொத்த நிலைத்தன்மையும்தான். ஹைட்ரஜன், அம்மோனியா அல்லது குளோரினேற்றப்பட்ட வாயுக்கள் போன்ற வழக்கமான எபிடாக்ஸி சூழல்களில்கூட, இந்தப் பூச்சு ஒப்பீட்டளவில் நிலையாக இருந்து, அதன் அடியில் உள்ள கிராஃபைட்டைப் பாதுகாக்கிறது. இது வெப்பப் புலத்தை மிகவும் சீராக வைத்திருக்க உதவுகிறது மற்றும் வளர்ச்சியின் போது துகள்கள் தோன்றுவதற்கான வாய்ப்பைக் குறைக்கிறது.

பெரும்பாலான நேரங்களில், சசெப்டர்கள், வேஃபர் கேரியர்கள், கிராஃபைட் வளையங்கள் அல்லது அரை நிலா வடிவ பாகங்கள் போன்ற பாகங்களில் பூச்சு பூசப்படுகிறது. இவை அனைத்தும் வேஃபரை சூடாக்குவதிலோ அல்லது நிலைநிறுத்துவதிலோ நேரடியாக ஈடுபடுவதால், எந்தவொரு சிறிய உறுதியற்ற தன்மையும் உற்பத்தி அளவைப் பாதிக்கக்கூடும். அந்தக் காரணத்திற்காக, பூசப்பட்ட பாகங்கள் பெரும்பாலும் நுகர்வுப் பொருட்களாகவே கருதப்படுகின்றன; அவை பல சுழற்சிகளிலும் நம்பகத்தன்மையுடன் இருக்க வேண்டியது அவசியம், குறிப்பாக 4 முதல் 12 அங்குல உற்பத்தியில் இது அவசியமாகிறது.