CVD SiC ஒற்றை வேஃபர் சசெப்டர்

பயன்பாட்டு காட்சிகள் அல்லது உபகரணங்கள்: AMTA எபிடாக்சியல் உபகரணங்கள்

GaN, SiC மற்றும் சிலிக்கான் அடிப்படையிலான எபி-லேயர்களின் மாசு-எதிர்ப்பு வளர்ச்சிக்கு மிக உயர்ந்த தூய்மை (≤100ppb, ICP-E10 சான்றளிக்கப்பட்டது) மற்றும் விதிவிலக்கான வெப்ப/வேதியியல் நிலைத்தன்மை. துல்லியமான CVD தொழில்நுட்பத்துடன் வடிவமைக்கப்பட்ட இது, 6”/8”/12” வேஃபர்களை ஆதரிக்கிறது, குறைந்தபட்ச வெப்ப அழுத்தத்தை உறுதி செய்கிறது மற்றும் 1600°C வரை தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.

நிறுவனத்தின் வலிமை

செமிக்ஸ்லேப் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட் 2 ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு மையங்கள், 2 உற்பத்தி தளங்கள், 12 உற்பத்தி வரிசைகள், 150+ பணியாளர்கள் மற்றும் 30% க்கும் மேற்பட்ட ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு முதலீட்டைக் கொண்டுள்ளது. எங்கள் தயாரிப்பு அமைப்பு முக்கியமாக LED, IC ஒருங்கிணைந்த சுற்று, மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி, ஒளிமின்னழுத்தம் மற்றும் பிற தொழில்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செமிக்ஸ்லேப் வலுவான ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு, உற்பத்தி மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சோதனை மற்றும் சரிபார்ப்பு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது. அதே நேரத்தில், ஆண்டுக்கு பல்லாயிரக்கணக்கான முதலீட்டில் எங்கள் தொழில்நுட்பம் மற்றும் உபகரணங்களை தொடர்ந்து மேம்படுத்தி வருகிறோம்.

CVD SiC ஒற்றை வேஃபர் சசெப்டர் முக்கியமாக பயன்படுத்தப்படும் பொருள் சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, பொருள் இறக்குமதி செய்யப்பட்ட கிராஃபைட் + CVD SiC பூச்சு ஆகும்.

முக்கிய விவரக்குறிப்பு அளவுருக்கள்: சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் பொருள்:

முக்கிய பயன்பாடுகள்:

AMTA எபிடாக்ஸி உபகரணங்களில் ஒரு துணைப் பொருளாக, நாங்கள் 6 அங்குல 8 அங்குல 12 அங்குல வேஃபர் சசெப்டரை வழங்க முடியும்.

AMTA எபிடாக்ஸி உபகரணங்களில் CVD SiC ஒற்றை வேஃபர் சசெப்டர்:

1. வேஃபர் ஆதரவு மற்றும் வெப்ப புலம் ஒருமைப்பாடு

AMTA எபிடாக்ஸி உபகரணங்களில் CVD SiC ஒற்றை வேஃபர் சஸ்பெக்டரின் முக்கிய செயல்பாடாக MOCVD, CVD மற்றும் பிற எபிடாக்ஸி உபகரணங்களில், சஸ்பெக்டர் ஒரு வேஃபர் கேரியராக செயல்படுகிறது, மேலும் எபிடாக்ஸி அடுக்குகளின் சீரான வளர்ச்சியை உறுதி செய்வதற்காக எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல் அல்லது RF வெப்பமாக்கல் மூலம் வேஃபர் மேற்பரப்புக்கு வெப்பத்தை சீராக மாற்றுகிறது (எ.கா. GaN, SiC).

இதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் வடிவமைப்பு விளிம்பிற்கும் மையத்திற்கும் இடையிலான வெப்பநிலை சாய்வைக் குறைக்கிறது, ±1°C க்குள் வெப்பநிலை சீரான தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துகிறது மற்றும் பொருள் அழுத்தக் குறைபாடுகளைத் தவிர்க்கிறது.

2. இரசாயன மாசுபாடு தடை

செயல்முறை வாயுக்களுக்கு நேரடியாக வெளிப்படும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள் ஆக்சிஜனேற்றம் அடைந்து CO₂ அல்லது தூளை உருவாக்கி, வினை அறையை மாசுபடுத்துகின்றன. CVD SiC பூச்சு அரிக்கும் வாயுக்களிலிருந்து கிராஃபைட்டை தனிமைப்படுத்தவும், வேஃபர் மேற்பரப்பில் துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கவும் ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்காக செயல்படுகிறது.

எடுத்துக்காட்டாக, GaN எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில், பூச்சு NH₃ மற்றும் TMGa போன்ற முன்னோடிகளின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கும், மேலும் படலத் தூய்மையை உத்தரவாதம் செய்யும்.

3. பல்வேறு எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளின் தழுவல்

மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகள்: SiC அடி மூலக்கூறுகளில் SiC அல்லது GaN எபிடாக்ஸிக்கு, தடிமனான படலங்கள் மற்றும் குறைந்த குறைபாடு விகிதங்களுக்கான உயர்-சக்தி சாதனங்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய.

மைக்ரோ-எல்இடி உற்பத்தி: சிறிய அளவிலான செதில்களின் (எ.கா., 8 அங்குலங்கள்) உயர்-துல்லிய நிலைப்படுத்தல் மற்றும் வெப்ப மேலாண்மையை ஆதரிக்கவும், அலைநீள பரவல் பரவலைக் குறைக்கவும்.

பொருள் பண்புகள்: CVD SiC இன் சிறந்த செயல்திறன்

1. மிக உயர்ந்த தூய்மை மற்றும் அடர்த்தியான அமைப்பு

வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) மூலம் படியெடுக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு, ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry) மூலம் சரிபார்க்கப்பட்டபடி, ≤100ppb (E10 தரநிலை) மாசு அளவுகளை அடைகிறது. இந்த மிக உயர்ந்த தூய்மை, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது மாசுபடும் அபாயங்களைக் குறைக்கிறது, காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) வைட்-பேண்ட்கேப் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி போன்ற முக்கியமான பயன்பாடுகளுக்கு உயர்ந்த படிக தரத்தை உறுதி செய்கிறது.

பூச்சு அமைப்பு அடர்த்தியானது மற்றும் சீரானது, குறைந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை கொண்டது, இது துகள் உதிர்தல் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறைகளின் உயர் தரத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

2. தீவிர சுற்றுச்சூழல் எதிர்ப்பு

அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: இது 1600°C இல் இயற்பியல் வேதியியல் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்க முடியும், இது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் ஆக்சிஜனேற்ற வரம்பை விட (சுமார் 400°C) மிக அதிகமாக உள்ளது, இது அதன் சேவை வாழ்க்கையை கணிசமாக நீடிக்கிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: Cl₂, H₂ மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்பு போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு மிகவும் எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது, MOCVD, MBE மற்றும் பிற கடுமையான செயல்முறை சூழல்களுக்கு ஏற்றது.

3. சிறந்த வெப்ப செயல்திறன்

300 W/mK வரை வெப்ப கடத்துத்திறன், வேஃபர்கள் சீராக வெப்பமடைவதை உறுதி செய்கிறது, எபிடாக்சியல் அடுக்கு தடிமன் விலகலைக் குறைக்கிறது (எ.கா., அலைநீள மாற்ற சிக்கல்கள்), மேலும் LEDகள், மின் சாதனங்கள் மற்றும் பிற தயாரிப்புகளின் விளைச்சலை மேம்படுத்துகிறது.

வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் (4×10-⁶/K) கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் குணகத்திற்கு அருகில் உள்ளது, இது வெப்பநிலை மாற்றத்தால் பூச்சு விரிசல் அல்லது உரிதலைத் தவிர்க்கிறது.

4. இயந்திர வலிமை மற்றும் ஆயுள்

470 MPa வரை நெகிழ்வு வலிமை, உயர் அதிர்வெண் உயர்-வெப்பநிலை-குறைந்த-வெப்பநிலை சுழற்சி மற்றும் இயந்திர அழுத்தத்தைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது, பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது.

தற்போது, ​​எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளின் தூய்மை ICP சோதனையில் E10 ஐ அடையலாம், இது சுமார் 100 ppb ஆகும், மேலும் இந்த தூய்மை நிலை சீனாவின் மிக உயர்ந்த மட்டங்களில் ஒன்றாகும்.