PVக்கான PECVD கிராஃபைட் படகு

PECVD படகு (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு படகு) என்பது ஒளிமின்னழுத்தத் தொழிலுக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு முக்கிய செயல்முறை-சுமந்து செல்லும் உபகரணமாகும், இது உயர் திறன் கொண்ட சூரிய மின்கல உற்பத்தியின் மெல்லிய படல படிவு நிலையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது உயர் தூய்மை மற்றும் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு பொருட்களால் ஆனது மற்றும் கடுமையான PECVD செயல்முறை சூழலில் நிலையாக செயல்பட முடியும், சிலிக்கான் செதில்களில் சீரான படல பூச்சு உறுதி செய்யப்படுகிறது மற்றும் செல்களின் மாற்ற திறன் மற்றும் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது. இந்த தயாரிப்பு சிலிக்கான் நைட்ரைடு (SiNx) அல்லது மோனோகிரிஸ்டலின்/மல்டிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் வேஃபர்கள், TOPCon மற்றும் HJT போன்ற உயர் திறன் கொண்ட ஒளிமின்னழுத்த செல்களில் பிற செயல்பாட்டு படலங்களை படிவதற்கு ஏற்றது, மேலும் ஒளிமின்னழுத்த செல் வெகுஜன உற்பத்தி வரிகளில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத முக்கிய நுகர்பொருளாகும்.

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

பொருள்: ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட்டால் (தூய்மை ≥ 99.99%) ஆனது, இது PECVD செயல்பாட்டில் 1200°C உடனடி உயர் வெப்பநிலையையும் அடிக்கடி ஏற்படும் குளிர் மற்றும் வெப்ப சுழற்சிகளையும் தாங்கும். வெப்ப விரிவாக்க குணகம் 4.5×10⁻⁶/°C வரை குறைவாக உள்ளது, இது விரிசல் மற்றும் சிதைவைத் தடுக்கிறது. பாரம்பரிய பொருட்களுடன் ஒப்பிடும்போது சேவை வாழ்க்கை 30% க்கும் அதிகமாக அதிகரிக்கிறது.

சூப்பர் சீரான வெப்ப புல வடிவமைப்பு

கிராஃபைட்டின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் (100-120 W/m·K) தேன்கூடு வடிவ காற்றோட்ட சேனல் அமைப்புடன் இணைந்து வினை அறைக்குள் விரைவான மற்றும் சீரான வெப்பக் கடத்தலை செயல்படுத்துகிறது. சிலிக்கான் செதில்களுக்கு இடையிலான வெப்பநிலை வேறுபாடு ≤ ±2°C ஆகும், மேலும் படலத் தடிமனின் சீரான தன்மை ±2.5% ஐ அடைகிறது (தொழில்துறை முன்னணி).

குறைந்த மாசுபாடு மேற்பரப்பு சிகிச்சை தொழில்நுட்பம்

மேற்பரப்பு உயர் அடர்த்தி கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு அல்லது மிகவும் மென்மையான பாலிஷ் செயல்முறை (Ra ≤ 0.2μm) மூலம் சிகிச்சையளிக்கப்படுகிறது, இது கிராஃபைட் பொடியின் உதிர்தலை அடக்குகிறது மற்றும் துகள் வெளியீட்டு விகிதத்தை 5 துகள்கள்/செ.மீ²க்குக் கீழே வைத்திருக்கிறது, இது உயர்நிலை ஒளிமின்னழுத்த செல் உற்பத்தி செயல்முறைகளின் தூய்மைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.

ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட சேவை ஆயுள் உறுதி

விருப்பத்தேர்வு சாய்வு கூட்டு ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு பூச்சுகள் (Al₂O₃/SiC பல அடுக்கு அமைப்பு போன்றவை) தேர்ந்தெடுக்கப்படலாம், இது அதிக வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜன் கொண்ட சூழல்களில் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு செயல்திறனை 5 மடங்கு மேம்படுத்துகிறது. சேவை வாழ்க்கை 1500 சுழற்சிகளை மீறுகிறது, இது ஒரு வாட்டிற்கான உற்பத்தி செலவை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.

கிராஃபைட் PECVD படகை ஏன் தேர்வு செய்ய வேண்டும்?

ஃபோட்டோவோல்டாயிக் செயல்முறை தழுவல்: TOPCon பாஸ்பர் சிலிக்கான் கண்ணாடி (PSG) டிகோட்டிங், HJT குறைந்த வெப்பநிலை படிவு மற்றும் பிற சிறப்புத் தேவைகளுக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட போரோசிட்டி மற்றும் மேற்பரப்பு மாற்ற தீர்வுகள்.

செலவுத் திறன்: கிராஃபைட் பொருட்களின் இயற்கையான செலவு நன்மை + நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, பீங்கான் வாகனங்களுடன் ஒப்பிடும்போது ஒட்டுமொத்த செலவு 40% க்கும் அதிகமாகக் குறைக்கப்படுகிறது.

உலகளாவிய சரிபார்ப்பு மற்றும் நம்பகத்தன்மை: இந்த தயாரிப்பு உலகளாவிய 50GW க்கும் அதிகமான ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தி வரிசையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, தோல்வி விகிதம் < 0.1%.

செமிக்ஸ்லாப் PECVD படகு உறைகள்:

பூச்சு சீரான தன்மை: ±2.8% → ±2.1% (உகந்ததாக 25%)

ஹல் மாற்று அதிர்வெண்: 800 முறை → 1300 முறை (62.5% நீட்டிப்பு)

பொருந்தக்கூடிய வெப்பநிலை: ≤800°C

சிலிக்கான் சிப் பொருந்தக்கூடிய தன்மை: 125மிமீ×125மிமீ முதல் 210மிமீ×210மிமீ வரை (தனிப்பயனாக்கத்தை ஆதரிக்கவும்)

சேவை வாழ்க்கை: ≥1000 மடங்கு (குறிப்பிட்ட செயல்முறை நிலைமைகளைப் பொறுத்து)

மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை: Ra≤0.5μm (குறைந்த துகள் மாசுபாட்டை உறுதி செய்ய)

விரைவு விரிவாக:

1. பிற பெயர்கள்: PECVD படகு, PECVD செயல்முறைக்கான கிராஃபைட் படகு, PECVD படகு (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு கேரியர் படகு).

2. பயன்பாடு: ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில், உயர் திறன் கொண்ட சூரிய மின்கல உற்பத்தியின் மெல்லிய படல படிவு நிலையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

3. மைய அளவுருக்கள்: தூய்மை ≥99.995%, அடர்த்தி 1.80-1.85g/cm³.

வழக்கமான பயன்பாட்டு காட்சிகள்

ஒற்றை படிக PERC செல் சிலிக்கான் நைட்ரைடு பிரதிபலிப்பு எதிர்ப்பு படல படிவு.

TOPகான் செல் டன்னலிங் ஆக்சைடு அடுக்கு மற்றும் பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் அடுக்கு தயாரிப்பு.

HJT செல் அமார்ஃபஸ் சிலிக்கான் படல படிவு செயல்முறை.

சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அல்லது தனிப்பயனாக்கப்பட்ட பீங்கான் கலவைப் பொருட்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், PECVD செயல்பாட்டில் 800°C வரை தொடர்ச்சியான உயர் வெப்பநிலையை சிதைவு அல்லது மாசுபாடு இல்லாமல் தாங்கி, நீண்ட கால நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

துல்லியமான சீரான வடிவமைப்பு: உகந்த ஸ்லாட் அமைப்பு மற்றும் மேற்பரப்பு சிகிச்சை தொழில்நுட்பம் படிவு செயல்பாட்டின் போது சிலிக்கான் வேஃபர்களின் சீரான வெப்பத்தை உத்தரவாதம் செய்கிறது, படல தடிமன் நிலைத்தன்மை ±3% க்குள் இருக்கும், இது பேட்டரி செயல்திறன் மற்றும் மகசூலை கணிசமாக மேம்படுத்துகிறது.

குறைந்த மாசுபாடு மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை: சிறப்பு மேற்பரப்பு பூச்சு தொழில்நுட்பம் துகள் ஒட்டுதலை திறம்பட தடுக்கிறது, செயல்முறை மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது; வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு 1000 சுழற்சிகளுக்கு மேல் சேவை வாழ்க்கையை உறுதி செய்கிறது, இது வாடிக்கையாளரின் ஒட்டுமொத்த செலவைக் குறைக்கிறது.

இணக்கத்தன்மை மற்றும் நெகிழ்வுத்தன்மை: பல்வேறு சிலிக்கான் வேஃபர் அளவுகள் (M6/M10/G12, முதலியன) மற்றும் வெவ்வேறு செயல்முறைத் தேவைகளை ஆதரிக்கிறது, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட ஸ்லாட் இடைவெளி மற்றும் படகு கட்டமைப்பு வடிவமைப்புகளை வழங்குகிறது, மேலும் முக்கிய PECVD உபகரணங்களுடன் (சென்ட்ரோதெர்ம், மேயர் பர்கர் போன்றவை) இணக்கமானது.