திட்டங்கள்

சிலிக்கான் கார்பைடு சிக் போரஸ் பீங்கான் வட்டு

செமிக்ஸ்லாப்பின் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) போரஸ் பீங்கான் வட்டு, துல்லியம், தூய்மை மற்றும் நீடித்துழைப்பு தேவைப்படும் உயர் செயல்திறன் கொண்ட குறைக்கடத்தி வேஃபர் செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. கட்டுப்படுத்தப்பட்ட நுண்-போரோசிட்டி, உயர்ந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வேதியியல் செயலற்ற தன்மையுடன், இந்த கூறு வெற்றிட சக்கிங், CMP (கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங்), எபிடாக்ஸி மற்றும் வேஃபர் கையாளுதல் அமைப்புகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

விசாரனை

விளக்கம்

இதற்கு ஏற்றது: CMP தளங்கள், MOCVD எபிடாக்ஸி ரியாக்டர்கள், வேஃபர் பரிமாற்ற தொகுதிகள், பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்யும் அமைப்புகள் மற்றும் ESC அடி மூலக்கூறு கூட்டங்கள்.

Ⅰ. பொருள் கலவை மற்றும் இயற்பியல் பண்புகள்

உயர்-தூய்மை SiC பீங்கான் அமைப்பு

≥99.9% அல்ட்ரா-ப்யூர் α-SiC அல்லது β-SiC பொடிகளிலிருந்து வடிவமைக்கப்பட்ட, ஒவ்வொரு நுண்துளை வட்டும் துல்லிய-கட்டுப்படுத்தப்பட்ட சின்டரிங் மற்றும் ஊடுருவல் செயல்முறைகள் மூலம் தயாரிக்கப்படுகிறது. இதன் விளைவாக, தீவிர செயலாக்க சூழல்களில் நிலையான வாயு ஓட்டம் மற்றும் இயந்திர ஒருமைப்பாட்டை உறுதி செய்யும் ஒரு சீரான துளை வலையமைப்பு உள்ளது.

முக்கிய தொழில்நுட்ப பண்புகள்:

சொத்து	விவரக்குறிப்பு
பொருள்	α-SiC / β-SiC
தூய்மை	≥99.9%
துளைபடும் தன்மை	10–40% (சரிசெய்யக்கூடியது)
துளை அளவு	0.1-10 μm
வெப்ப கடத்தி	120-200 W/m·K
அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை	1600-1800 ° சி
கடினத்தன்மை	மோஸ் 9.3
இரசாயன எதிர்ப்பு	HF, HCl, Cl₂, H₂ ஆகியவற்றில் சிறந்தது
அடர்த்தி	2.8–3.1 g/cm³

செயல்திறன் சிறப்பம்சங்கள்:

● சீரான வெற்றிட ஊடுருவல்: துல்லியமான துளை விநியோகம் வேஃபர் மேற்பரப்பு முழுவதும் சீரான வாயு ஓட்டத்தை உறுதி செய்கிறது.

● சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை: உயர் வெப்பநிலை சுழற்சியின் கீழ் இயந்திர ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்கிறது.

● குறைந்த துகள் உற்பத்தி: மெருகூட்டப்பட்ட SiC மேற்பரப்புகள் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கின்றன.

● உயர்ந்த ஆயுள்: ஆக்கிரமிப்பு இரசாயன மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களிலும் கூட நீட்டிக்கப்பட்ட சேவை வாழ்க்கை.

Ⅱ. பொதுவான செயல்முறை சவால்கள் மற்றும் செமிக்ஸ்லேப் தீர்வுகள்

சவால்	ரூட் காஸ்	செமிக்ஸ்லாப் தீர்வுகள்
சீரற்ற வெற்றிட உறிஞ்சுதல்	சீரற்ற துளை அளவு அல்லது அடைப்பு	கட்டுப்படுத்தப்பட்ட துளை அளவு விநியோகம் மற்றும் அவ்வப்போது பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்தல்
துகள் மாசுபாடு	வெப்ப சுழற்சியால் ஏற்படும் நுண் விரிசல்கள்	மேற்பரப்பு வலுப்படுத்த CVD SiC பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துங்கள்.
வெப்ப சீரற்ற தன்மை	சீரற்ற அடர்த்தி அல்லது மாசுபாடு	அதிக கடத்துத்திறன் கொண்ட SiC (>150 W/m`K) மற்றும் பளபளப்பான மேற்பரப்புகளைப் பயன்படுத்தவும்.
வேதியியல் அரிப்பு	HF அல்லது Cl-அடிப்படையிலான வாயுக்களுக்கு நீண்டகால வெளிப்பாடு	அரிப்பு எதிர்ப்பை அதிகரிக்க அடர்த்தியான CVD SiC கலப்பின சின்டரிங் முறையைப் பயன்படுத்தவும்.
காலப்போக்கில் குறைக்கப்பட்ட இயந்திர வலிமை	மீண்டும் மீண்டும் வேஃபர் ஏற்றுதல் அழுத்தம்	எலும்பு முறிவு கடினத்தன்மையை மேம்படுத்தவும் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கவும் இரண்டாம் நிலை ஊடுருவல்

செமிக்ஸ்லாப்பின் தனியுரிம பொருள் கட்டுப்பாடு மற்றும் மேற்பரப்பு பொறியியல், பல செயல்முறை சுழற்சிகளில் நிலையான செயல்திறன், நீண்ட கால நம்பகத்தன்மை மற்றும் குறைக்கப்பட்ட உபகரண செயலிழப்பு நேரத்தை உறுதி செய்கிறது. மேலும் தொழில்நுட்ப ஆலோசனை மற்றும் தயாரிப்பு தனிப்பயனாக்க சேவைகளுக்கு எங்களை அணுக வரவேற்கிறோம்.

பயன்பாடுகள்

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பயன்பாடுகள்

1. வேஃபர் வெற்றிட சக்கிங் மற்றும் கையாளுதல்

நுண்துளை SiC வட்டுகள் வேஃபர் ஏற்றுதல் மற்றும் பரிமாற்ற அமைப்புகளில் வெற்றிட சக் தகடுகள் அல்லது கேரியர் ஆதரவாக பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவற்றின் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட போரோசிட்டி சீரான வெற்றிட உறிஞ்சுதலை உறுதி செய்கிறது, வேஃபர் சிதைவை நீக்குகிறது மற்றும் சீரமைப்பு துல்லியத்தை மேம்படுத்துகிறது.

2. கெமிக்கல் மெக்கானிக்கல் பாலிஷிங் (CMP)

CMP-யின் போது, நுண்துளை SiC வட்டு ஒரு கேரியர் அல்லது பின்னணி தகடாகச் செயல்படுகிறது, இதனால்:

● சீரான குழம்பு விநியோகம்

● நிலையான வேஃபர் ஆதரவு

● மேம்படுத்தப்பட்ட தளவமைப்பு மற்றும் குறைபாடு கட்டுப்பாடு

வழக்கமான அலுமினா அல்லது குவார்ட்ஸுடன் ஒப்பிடும்போது, SiC அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறனை வழங்குகிறது, இது நீண்ட ஆயுட்காலம் மற்றும் மேம்பட்ட செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

3. எபிடாக்ஸி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கம்

MOCVD மற்றும் LPE எபிடாக்சியல் உலைகளில், SiC நுண்துளை வட்டு ஒரு வெப்ப சஸ்பெப்டர் தளமாக அல்லது ஆதரவு தளமாக செயல்படுகிறது, இது உறுதி செய்கிறது:

● வேஃபர் முழுவதும் சீரான வெப்பப் பரிமாற்றம்

● நிலையான எபிடாக்சியல் அடுக்கு தடிமன்

● வினைத்திறன் செயல்முறை வாயுக்களுக்கு அதிக எதிர்ப்பு

4. ஈரமான & பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்யும் அமைப்புகள்

அதன் வேதியியல் மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்பின் காரணமாக, நுண்துளை SiC வட்டு ஈரமான பெஞ்சுகள் மற்றும் சுத்தம் செய்யும் அறைகளில் வாயு பரவல் தகடு அல்லது வேதியியல் வடிகட்டுதல் அடி மூலக்கூறாக திறம்பட செயல்படுகிறது.

5. ESC (எலக்ட்ரோஸ்டேடிக் சக்) அடிப்படை அடுக்கு

மேம்பட்ட வேஃபர் நிலைகளில், நுண்துளைகள் கொண்ட SiC மட்பாண்டங்கள் ESC களுக்கு வெப்ப தளங்களாகச் செயல்படுகின்றன, துல்லியமான வேஃபர் வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டிற்காக சிறந்த வெப்பப் பரிமாற்றம் மற்றும் மின் காப்பு ஆகியவற்றை இணைக்கின்றன.