SiC செராமிக் பின் சக்

செமிக்ஸ்லேப், குறைக்கடத்தி வேஃபர் கையாளுதல், ஆய்வு, லித்தோகிராபி, அளவியல் மற்றும் வெப்பச் செயலாக்கப் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC செராமிக் பின் சக்குகளை வழங்குகிறது.

உயர் தூய்மை கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்கிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்ட எங்கள் SiC பின் சக், சிறந்த இயந்திர நிலைத்தன்மை, உயர்ந்த வெப்ப செயல்திறன், மிகக் குறைந்த மாசுபடும் பண்புகள் மற்றும் துல்லியமான வேஃபர் நிலைநிறுத்தும் திறன் ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைக்கிறது.

பெரிய வேஃபர் அளவுகள், இறுக்கமான செயல்முறைக் கட்டுப்பாடு மற்றும் உயர்ந்த தூய்மைத் தேவைகளை நோக்கிய மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியால், நம்பகமான வேஃபர் ஆதரவு அமைப்புகளுக்கு SiC செராமிக் பின் சக் ஒரு முக்கிய அங்கமாக மாறியுள்ளது.

SiC செராமிக் பின் சக்கின் தயாரிப்பு அம்சங்கள்

உயர் இயந்திர நிலைத்தன்மை மற்றும் துல்லியமான வேஃபர் ஆதரவு

செமிக்ஸ்லேப் SiC செராமிக் பின் சக், உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்கிலிருந்து தயாரிக்கப்படுகிறது. இது சிறந்த கடினத்தன்மை, தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் பரிமாண நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. இதன் உறுதியான செராமிக் கட்டமைப்பு, தொடர்ச்சியான சுமையேற்ற சுழற்சிகளின் போது நம்பகமான வேஃபர் ஆதரவை உறுதி செய்வதோடு, உயர் நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தையும் பராமரிக்கிறது.

சிறந்த வெப்ப செயல்திறன்

சிலிக்கான் கார்பைடு அதிக வெப்பக் கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. இந்தப் பண்புகள், வெப்பச் செயலாக்கம் மற்றும் பதப்படுத்துதல் உள்ளிட்ட உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது, ​​SiC செராமிக் பின் சக் நிலையான செயல்திறனைப் பராமரிக்க உதவுகின்றன.

இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த மாசுபடும் பண்புகள்

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் பெரும்பாலும் அரிக்கும் வாயுக்கள், பிளாஸ்மா சூழல்கள் மற்றும் கடுமையான தூய்மைத் தேவைகள் அடங்கியுள்ளன. வலிமையான Si-C பிணைப்புடன், SiC பீங்கான்கள் சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்புத்திறன், பிளாஸ்மா நீடித்த தன்மை மற்றும் குறைந்த துகள் உருவாக்கம் ஆகியவற்றை வழங்குகின்றன.

துல்லியமான முள் கட்டமைப்பு வடிவமைப்பு

மேம்படுத்தப்பட்ட பின்-அரே கட்டமைப்பு, நிலையான இயந்திர ஆதரவை வழங்கும் அதே வேளையில், வேஃபர் தொடர்புப் பரப்பைக் குறைக்கிறது. இந்த வடிவமைப்பு, பின்புற அசுத்தத்தைக் குறைத்து, வேஃபர் சேதத்தைத் தடுத்து, வேஃபரின் சமதளக் கட்டுப்பாட்டை மேம்படுத்துகிறது.

பல்வேறு குறைக்கடத்தி உபகரணத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக, பின் கட்டமைப்பு, பரிமாணங்கள் மற்றும் மேற்பரப்பு விவரக்குறிப்புகள் உள்ளிட்ட தனிப்பயனாக்கப்பட்ட வடிவமைப்புகளை செமிக்ஸ்லேப் ஆதரிக்கிறது.

தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தீர்வுகளுக்கு செமிக்ஸ்லேப்பைத் தொடர்பு கொள்ளுங்கள்.

குறைக்கடத்தி வேஃபர் கையாளும் அமைப்புகளுக்கான உயர் செயல்திறன் கொண்ட SiC செராமிக் பின் சக் தீர்வுகளைத் தேடுகிறீர்களா? உங்கள் பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பற்றி விவாதிக்க இன்றே எங்களைத் தொடர்பு கொள்ளுங்கள்.

SiC செராமிக் பின் சக்கின் முக்கிய விவரக்குறிப்புகள்

குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் SiC செராமிக் பின் சக்கின் பயன்பாடுகள்

வேஃபர் பரிசோதனை மற்றும் அளவியல்

உயர் நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் மற்றும் மேற்பரப்பு நிலைத்தன்மை தேவைப்படும் வேஃபர் ஆய்வு மற்றும் அளவியல் அமைப்புகளில் SiC செராமிக் பின் சக் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இதன் குறைந்த தொடர்பு கொண்ட பின் வடிவமைப்பு, சிறந்த வேஃபர் சமதளத்தன்மை மற்றும் அளவீட்டு மீண்டும் மீண்டும் செய்யும் தன்மையைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில், பின்புற மாசுபடுதலைக் குறைக்க உதவுகிறது.

லித்தோகிராபி மற்றும் வேஃபர் சீரமைப்பு அமைப்புகள்

மேம்பட்ட லித்தோகிராபி செயல்முறைகளில், வேஃபர் நிலைத்தன்மை ஓவர்லே துல்லியத்தை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. SiC பின் சக், சிறந்த வெப்ப மற்றும் இயந்திர நிலைத்தன்மையுடன் துல்லியமான வேஃபர் ஆதரவை வழங்கி, சீரமைப்புத் துல்லியம் மற்றும் செயல்முறை நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்த உதவுகிறது.

வெப்பச் செயலாக்கம் மற்றும் அனீலிங்

அதன் சிறந்த வெப்பப் பரிமாற்றத் திறன் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத் திறன் காரணமாக, SiC செராமிக் பின் சக் ஆனது விரைவான வெப்பச் செயலாக்கம் (RTP), பதப்படுத்துதல் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் சிகிச்சை ஆகியவற்றுக்கு ஏற்றதாக உள்ளது.

அதன் நிலையான வெப்பச் செயல்திறன், சீரான வெப்பமூட்டலை அடையவும், வேஃபர் மீதான அழுத்தத்தைக் குறைக்கவும், செயல்முறை நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தவும் உதவுகிறது.

CVD, PVD மற்றும் பிளாஸ்மா செயலாக்க உபகரணங்கள்

SiC செராமிக் பின் சக், உயர் வெப்பநிலை, வினைபுரியும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மா வெளிப்பாட்டைத் தாங்க வேண்டிய கூறுகள் உள்ள படிவு மற்றும் பிளாஸ்மா செயலாக்க அமைப்புகளிலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

கேள்வி 1: SiC செராமிக் பின் சக் என்றால் என்ன?

SiC செராமிக் பின் சக் என்பது உயர் தூய்மை கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்கிலிருந்து தயாரிக்கப்படும் ஒரு துல்லியமான வேஃபர் ஆதரவுக் கூறு ஆகும். குறைக்கடத்திச் செயல்முறைகளின் போது நிலையான நிலைப்படுத்தலைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில், வேஃபர் தொடர்பைக் குறைப்பதற்காக இது ஒரு பின் அமைப்பைப் பயன்படுத்துகிறது.

கேள்வி 2: அலுமினியம் அல்லது குவார்ட்ஸுக்குப் பதிலாக SiC செராமிக்கை ஏன் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும்?

SiC சிறந்த பலன்களை வழங்குகிறது:

வெப்ப கடத்தி

வேதியியல் எதிர்ப்பு

இயந்திர வலிமை

பிளாஸ்மா எதிர்ப்பு

இது மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் சூழல்களுக்கு மிகவும் பொருத்தமானதாக அமைகிறது.

கேள்வி 3: செமிக்ஸ்லேப் நிறுவனத்தால் SiC பின் சக் பரிமாணங்களைத் தனிப்பயனாக்க முடியுமா?

ஆம். செமிக்ஸ்லேப், அளவு, பின் அமைப்பு, மேற்பரப்புப் பூச்சு மற்றும் மூலப்பொருள் விவரக்குறிப்புகள் உள்ளிட்ட OEM/ODM தனிப்பயனாக்கத்தை வழங்குகிறது.

கேள்வி 4: என்னென்ன வேஃபர் அளவுகள் ஆதரிக்கப்படுகின்றன?

SiC செராமிக் பின் சக்குகளை பின்வருவனவற்றுக்காகத் தனிப்பயனாக்கலாம்:

100mm

150mm

200mm

300மிமீ வேஃபர்கள்

வாடிக்கையாளரின் உபகரணத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப.