உயர்-தூய்மை SiC வேஃபர் படகு

குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில், உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகள் வேஃபர் கேரியர்களுக்கு கடுமையான சவால்களை ஏற்படுத்துகின்றன. வெப்பநிலை 1600℃ ஐ தாண்டும்போது, ​​பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் கேரியர் (வேஃபர் பயன்படுத்தப்படும் குவார்ட்ஸ் படகு) மென்மையாக்கவும், சிதைக்கவும், மாசுபடுத்திகளை வெளியிடவும் தொடங்குகிறது, இதனால் வேஃபர் ஸ்கிராப் விகிதம் உயரும்.

சிலிக்கான் கார்பைடின் (SiC) உள்ளார்ந்த பொருள் நன்மைகளைக் கொண்ட உயர்-தூய்மை SiC வேஃபர் படகு, இந்தத் தொழில்துறை சிக்கலை முழுமையாகத் தீர்த்து, மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு, குறிப்பாக SiC மின் சாதன உற்பத்திக்கு ஒரு அத்தியாவசிய கருவியாக மாறுகிறது.

பொருளின் முக்கிய இயற்பியல் பண்புகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்:

சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் கேரியரின் (SiC வேஃபர் கேரியர்) சிறந்த செயல்திறன் அதன் தனித்துவமான பொருள் அறிவியல் பண்புகளிலிருந்து உருவாகிறது. முக்கிய இயற்பியல் அளவுருக்களின் விரிவான ஒப்பீடு கீழே உள்ளது:

இந்த அளவுருக்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மேம்பட்ட மகசூல் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட செலவுகளுக்கு நேரடியாக வழிவகுக்கும், பின்வருவனவற்றில் காட்டப்பட்டுள்ளது:

வெப்ப செயல்திறன் நன்மை: SiC இன் பரந்த பட்டை இடைவெளி (3.26 eV) 2000°C இல் நிலையான படிக அமைப்பைப் பராமரிப்பதை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் வெப்ப சிதைவைத் தவிர்க்கிறது. அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் (4.9 W/cm·K) வேஃபரை மிகவும் சமமாக சூடாக்க அனுமதிக்கிறது மற்றும் வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் லேட்டிஸ் குறைபாடுகளை நீக்குகிறது.

இயந்திர வலிமை: 9.2 மோஸ் கடினத்தன்மை செயல்பாட்டின் போது உடல் தாக்கத்தை எதிர்க்கிறது, மேலும் சேவை வாழ்க்கை பாரம்பரிய குவார்ட்ஸ் கேரியர்களை விட 10 மடங்கு அதிகமாகும். தனித்துவமான அரைவட்ட ஸ்லாட் வடிவமைப்பு 5MPa க்குக் கீழே உள்ள வேஃபர் தொடர்பு அழுத்தத்தைக் கட்டுப்படுத்துகிறது, அடிப்படையில் உயர் வெப்பநிலை சறுக்கல் நிகழ்வை நீக்குகிறது.

வேதியியல் மந்தநிலை: HF மற்றும் HCl போன்ற அதிக அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு சகிப்புத்தன்மை 10,000 மணிநேரத்தை மீறுகிறது, மேலும் LPCVD, பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் பூஜ்ஜிய மாசுபாடு பராமரிக்கப்படுகிறது.

உயர் தூய்மை SiC வேஃபர் படகின் முக்கிய பங்கு

எங்கள் உயர்-தூய்மை SiC வேஃபர் படகு பின்வரும் முக்கிய குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

உயர்-வெப்பநிலை அனீலிங்: சிக் வேஃபர் உற்பத்தியாளரின் உற்பத்தி வரிசையில், டோபன்ட்களை செயல்படுத்துவதற்கும் லேட்டிஸ் குறைபாடுகளை சரிசெய்வதற்கும் உயர்-வெப்பநிலை அனீலிங் ஒரு முக்கிய படியாகும். SiC வேஃபர் படகின் உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை அனீலிங் செயல்முறையின் சீரான தன்மை மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி: சிலிக்கான் அடிப்படையிலான எபிடாக்ஸியாக இருந்தாலும் சரி அல்லது சிலிக்கான் கார்பைடு வேஃபர் எபிடாக்ஸியாக இருந்தாலும் சரி, SiC வேஃபர் படகின் உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியை உறுதி செய்வதற்கான சிறந்த கேரியராக அமைகிறது.

பரப்புவதற்காக: உயர்-வெப்பநிலை பரவல் உலையில், LPCVD வேஃபர் படகில் உள்ள SiC வேஃபர் படகு, டோப்பிங் அணுக்களின் சீரான பரவலை உறுதி செய்வதற்கும் துல்லியமான மின் பண்புகளை உருவாக்குவதற்கும் நீண்டகால உயர்-வெப்பநிலை சிகிச்சையைத் தாங்கும்.

மெல்லிய படத்தொகுப்பு: குறிப்பாக Lpcvd வேஃபர் படகு பயன்பாடுகளுக்கு, SiC வேஃபர் படகுகளின் மிகக் குறைந்த துகள் உதிர்தல் மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவை உயர்தர, உயர்-சீரான படலங்களைப் பெற உதவுகின்றன.

இணக்கமான உபகரணங்கள் மற்றும் செயல்முறை இணக்கத்தன்மை:

✔ பிரதான LPCVD உலைகளுடன் (TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar போன்றவை) இணக்கமானது.

✔ 100மிமீ/150மிமீ/200மிமீ போன்ற தனிப்பயனாக்கக்கூடிய வேஃபர் விவரக்குறிப்புகள்

✔ கிடைமட்ட மற்றும் செங்குத்து செயல்முறை உபகரண நிறுவலை ஆதரிக்கிறது

செமிக்ஸ்லாப்பின் SiC வேஃபர் படகு உங்கள் செயல்முறை திறன் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலை மேம்படுத்த ஒரு சிறந்த தேர்வாகும், மேலும் மேம்பட்ட செமிகண்டக்டர் வேஃபர் படகு தீர்வுகளில் முன்னணியில் உள்ளது.

செமிக்ஸ்லாப் தயாரிப்பு கடைகள்