குறைக்கடத்தி குவார்ட்ஸ் ஃப்ளோ பேஃபிள்

Ⅰ. பொருள் மற்றும் மேற்பரப்பு பண்புகள்

● பொருள்: உயர்-தூய்மை உருகிய சிலிக்கா (செயற்கை அல்லது இயற்கை குவார்ட்ஸ், தூய்மை ≥99.99%).

● வெப்ப எதிர்ப்பு: 1200°C வரை தொடர்ச்சியான வெப்பநிலையில் நிலையான செயல்திறன்.

● மேற்பரப்பு பூச்சு: துகள் ஒட்டுதலைத் தடுக்க மிகவும் மென்மையான துல்லிய-பாலிஷ் செய்யப்பட்ட மேற்பரப்புகள்.

● வெப்ப விரிவாக்கம்: குறைந்த விரிவாக்க குணகம் (5.5×10⁻⁷/°C) பரிமாண நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

● வேதியியல் எதிர்ப்பு: HCl, NH₃, மற்றும் SiH₄ போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களுக்கு மந்தமானது.

ஒவ்வொரு ஃப்ளோ பேஃபிளும் மேற்பரப்பு தரம், பரிமாண துல்லியம் மற்றும் உள் குமிழி கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றிற்காக கடுமையான ஆய்வுக்கு உட்படுகிறது, இது ஒவ்வொரு உற்பத்தித் தொகுப்பிலும் நிலையான தூய்மை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

Ⅱ. குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் முக்கிய செயல்பாடுகள்

குவார்ட்ஸ் ஃப்ளோ பேஃபிள் உயர் வெப்பநிலை குறைக்கடத்தி செயலாக்க அறைகளுக்குள் ஒரு மைய ஓட்டக் கட்டுப்பாடு மற்றும் வெப்ப ஒழுங்குமுறை கூறுகளாக செயல்படுகிறது. அதன் செயல்பாடு வாயுக்களை இயக்குவதைத் தாண்டிச் செல்கிறது - இது செயல்முறை சூழலை நிலைப்படுத்துதல், பொருள் பயன்பாட்டை மேம்படுத்துதல் மற்றும் வேஃபர்-டு-வேஃபர் சீரான தன்மையை உறுதி செய்தல் ஆகியவற்றில் மல்டிஃபங்க்ஸ்னல் பங்கை வகிக்கிறது.

1. சீரான வாயு ஓட்ட விநியோகம்

LPCVD, PECVD மற்றும் எபிடாக்ஸி போன்ற செயல்முறைகளில், சீரான மெல்லிய படல வளர்ச்சி மற்றும் டோபன்ட் விநியோகத்தை அடைவதற்கு சீரான வாயு விநியோகம் மிக முக்கியமானது. குவார்ட்ஸ் ஃப்ளோ பேஃபிளின் கவனமாக வடிவமைக்கப்பட்ட வடிவியல் - அதன் கோண ஓட்ட சேனல்கள், திசைதிருப்பும் வளைவு மற்றும் உகந்த இடைவெளி உட்பட - வினைத்திறன் வாயுக்கள் வேஃபர் மேற்பரப்பில் சமமாக சிதறடிக்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. ஒரு லேமினார் ஃப்ளோ பேட்டரைப் பராமரிப்பதன் மூலம், ஃப்ளோ பேஃபிள் ஒரு தொகுப்பிற்குள் உள்ள ஒவ்வொரு வேஃபரும் ஒரே மாதிரியான வாயு வெளிப்பாடு நிலைமைகளை அனுபவிப்பதை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் மகசூல் நிலைத்தன்மை மற்றும் சாதன நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

2. வெப்ப புல நிலைப்படுத்தல் மற்றும் வெப்ப பரிமாற்ற சமநிலை

வெப்ப ஆக்சிஜனேற்றம் அல்லது Si எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி போன்ற உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளின் போது, ​​வெப்பநிலை பரவலில் ஏற்படும் சிறிய மாறுபாடுகள் கூட படிகக் குறைபாடுகள், இடப்பெயர்வுகள் அல்லது படல அழுத்தத்தை ஏற்படுத்தும்.

குவார்ட்ஸ் ஓட்ட தடுப்பு ஒரு வெப்ப மதிப்பீட்டாளராக செயல்படுகிறது:

● வேஃபர் படகின் மையத்திற்கும் விளிம்பிற்கும் இடையிலான வெப்பநிலை சாய்வுகளை மென்மையாக்குகிறது.

● உலைக்குள் கதிரியக்க வெப்ப ஏற்றத்தாழ்வைக் குறைக்கிறது.

● வெப்பநிலை அதிகரிப்பு மற்றும் குறைவு சுழற்சிகளின் போது வெப்ப அதிர்ச்சிகளைக் குறைக்கிறது.

3. மாசுபாட்டை அடக்குதல் மற்றும் செயல்முறை தூய்மை

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், மாசு கட்டுப்பாடு மிக முக்கியமானது. உலோகம் அல்லது துகள் மாசுபாடு சாதன விளைச்சலை கடுமையாகக் குறைக்கும். அதி-உயர்-தூய்மை செயற்கை இணைந்த சிலிக்காவிலிருந்து (SiO₂ ≥ 99.99%) தயாரிக்கப்பட்ட குவார்ட்ஸ் ஃப்ளோ பேஃபிள், செயல்முறை அறைக்குள் எந்த உலோக அயனிகள் அல்லது கார்பன் எச்சங்களையும் அறிமுகப்படுத்துவதில்லை. அதன் மென்மையான, நுண்துளைகள் இல்லாத மேற்பரப்பு எதிர்வினை துணை தயாரிப்புகள் குவிவதையும் துகள் உதிர்தலையும் தடுக்கிறது. இது கேட் ஆக்சைடு உருவாக்கம், பரவல் ஊக்கமருந்து மற்றும் CVD மின்கடத்தா படிவு போன்ற முக்கியமான செயல்முறைகளுக்கு சுத்தமான அறை-தர நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

செமிக்ஸ்லாப் குவார்ட்ஸ் ஃப்ளோ பாஃபிள் என்பது வெறும் செயலற்ற கூறு மட்டுமல்ல, செயல்முறை நிலைத்தன்மை, வாயு சீரான தன்மை மற்றும் மகசூல் உகப்பாக்கம் ஆகியவற்றின் முக்கியமான செயல்படுத்தியாகும். அதன் மேம்பட்ட ஓட்ட இயக்கவியல் வடிவமைப்பு, வெப்ப சமநிலை மற்றும் அல்ட்ரா-க்ளீன் பொருள் கலவை மூலம், ஒவ்வொரு வேஃபரும் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை சூழலைப் பெறுவதை உறுதி செய்கிறது - அடுத்த தலைமுறை குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்திக்கு இது அவசியம்.