EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC பூசப்பட்ட வேஃபர் சசெப்டர்
விரைவு விரிவாக:
நோக்கம்: குறைக்கடத்தி CVD (1000°C - 1400°C) மற்றும் PVD உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட இது, வேஃபர்களுக்கு ஒரு நிலையான ஆதரவு தளத்தை வழங்குகிறது.
மைய அளவுருக்கள்: மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra < 0.5 μm; அதிக கடினத்தன்மை (>2500 HV); வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) துல்லியமாக பொருந்துகிறது (≈ 2.6 x 10⁻⁶/K), வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் வேஃபர் வார்பேஜ் அல்லது சறுக்கலை முற்றிலுமாக நீக்குகிறது.
விளக்கம்
செமிக்ஸ்லேப் உயர் செயல்திறன் கொண்ட வேஃபர் சசெப்டரை வழங்குகிறது. இந்த தயாரிப்பு முக்கியமாக குறைக்கடத்தி CVD PVD உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது வேஃபர்களுக்கு ஆதரவை வழங்கவும், நைட்ரஜன் ஓட்டத்தால் ஏற்படும் சேதம் மற்றும் தற்செயலான சொட்டுகளைத் தடுக்கவும் பயன்படுகிறது.
SiC பூசப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு அடிப்படை (SiC பூசப்பட்ட சசெப்டர்) அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக தூய்மை மற்றும் வேஃபர்களுக்கு குறைந்த மாசுபாடு போன்ற அம்சங்களால் குறைக்கடத்திகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
விண்ணப்பம்:
குறைக்கடத்தி CVD (1000°C - 1400°C) மற்றும் PVD உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட இது, வேஃபர்களுக்கு ஒரு நிலையான ஆதரவு தளத்தை வழங்குகிறது.
முக்கிய அம்சங்கள்:
சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: 1400°C க்கும் அதிகமான தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும், எந்த விலகலும் இல்லாமல் துல்லியமான வேஃபர் நிலைப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது.
சூப்பர் வலுவான பாதுகாப்பு: 10 மீ/விக்கு மேல் நைட்ரஜன் ஓட்டம் மற்றும் தற்செயலான சொட்டுகளின் தாக்கத்தை திறம்பட எதிர்க்கிறது, இது வேஃபருக்கு அதிகபட்ச பாதுகாப்பை வழங்குகிறது.
சிறந்த நீடித்து உழைக்கும் தன்மை: SiC பூச்சு அதிக கடினத்தன்மை (>2500 HV) மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்குகிறது, சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது.
உயர்-தூய்மை மேற்பரப்பு: மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra < 0.5 μm, துகள் மாசுபாட்டின் அபாயத்தைக் குறைக்கிறது.
சிலிக்கான் அடிப்படை (சிலிக்கான் சஸ்பெப்டர்)
பயன்பாடு: வெப்பப் பொருத்தத்திற்கான மிக அதிக தேவைகளைக் கொண்ட சிலிக்கான் செதில்களின் உயர்-வெப்பநிலை செயல்முறைகளுக்கு ஏற்றது (எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, <1200°C).
முக்கிய அம்சங்கள்:
● சரியான வெப்பப் பொருத்தம்: வேஃபர் பொருளுடன் (மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான்) இணக்கமாக, வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (CTE) துல்லியமாக பொருந்துகிறது (≈ 2.6 x 10⁻⁶/K), வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் வேஃபர் சிதைவு அல்லது சறுக்கலை முற்றிலுமாக நீக்குகிறது.
● விரைவான விநியோகம்: நிலையான தயாரிப்புகளின் விநியோக சுழற்சி கணிசமாகக் குறைக்கப்படுகிறது, குறைந்தபட்சம் 4-6 வாரங்கள் (SiC அடிப்படைகளுக்கு 8-12 வாரங்களுடன் ஒப்பிடும்போது).
● உயர் தூய்மை: குறைக்கடத்தி தர சிலிக்கான் பொருட்களின் தரநிலைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
● மேற்பரப்பு தரம்: துல்லியமாக மெருகூட்டப்பட்ட, மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra < 0.2 μm.
விவரக்குறிப்புகள்
| CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
| சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
| படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
| அடர்த்தி | 3.21 g / cm³ |
| கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
| தானிய அளவு | 2 ~ 10μ மீ |
| வேதியியல் தூய்மை | 99.99995% |
| வெப்ப திறன் | 640 ஜெ·கி.கி.-1·K-1 |
| பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700 ℃ |
| நெகிழ்வான வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
| யங்கின் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
| வெப்ப கடத்தி | 300W·m-1·K-1 |
| வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
பயன்பாடுகள்
SiC எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சி கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்.
SiC எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலையில் எரிவாயு நுழைவாயில் திசைதிருப்பல் மற்றும் வெப்ப புலக் கட்டுப்பாடு.
செமிக்ஸ்லாப் தயாரிப்பு கடை
