திட்டங்கள்

MOCVD SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர்

தோற்றம் இடம்:	சீனா
பிராண்ட் பெயர்:	செமிக்ஸ்லேப்
மாடல் எண்:	எம்.எஸ்.சி.ஜி.எஸ்-01
சான்றிதழ்:	ISO9001
குறைந்தபட்ச ஆர்டர் அளவு:	1 தொகுப்பு
விலை:	தனிப்பயனாக்கப்பட்ட விலைப்புள்ளிக்கு தொடர்பு கொள்ளவும்
பேக்கேஜிங் விவரங்கள்:	நிலையான ஏற்றுமதி தொகுப்பு
டெலிவரி நேரம்:	ஆர்டர் உறுதிப்படுத்தப்பட்ட 35-40 நாட்களுக்குப் பிறகு
கட்டண வரையறைகள்:	டி / டி
விநியோக திறன்:	1000 பெட்டிகள்/மாதம்

விசாரனை

விளக்கம்

MOCVD சஸ்பெப்டர்

1. ஆயுட்காலம் 300%+ நீட்டிக்கப்பட்டது

தாங்கல் அடுக்கு தொழில்நுட்பம் வெப்ப அதிர்ச்சி சுழற்சிகளின் எண்ணிக்கையை 5,000 மடங்குக்கு மேல் (வழக்கமான தயாரிப்புகளுக்கு 1,500 மடங்குக்கும் குறைவாக) அனுமதிக்கிறது.

தொடர்ச்சியான இயக்க வெப்பநிலை 1650°C ஐ எட்டும், மேலும் பூச்சு எந்த விரிசல்களையும் அல்லது உரிதலையும் காட்டாது.

2. மாசுபாடு இல்லாத உத்தரவாதம்

SiC பூச்சுகளின் தூய்மை 6N தரம் (மொத்த உலோக அசுத்தங்களின் அளவு < 0.5ppm).

SEMI தரநிலை துகள் வெளியீட்டு தேர்வில் (வகுப்பு 10 தூய்மை) தேர்ச்சி பெற்றேன்.

3. வெப்ப புல சீரான தன்மையை மேம்படுத்துதல்

அடிப்படை மேற்பரப்பில் வெப்பநிலை வேறுபாடு ±2°C க்கும் குறைவாக உள்ளது (Φ300மிமீ விவரக்குறிப்புக்கான அளவிடப்பட்ட தரவு).

வெப்ப சிதைவு இல்லாமல் விரைவான வெப்பமாக்கலை (20°C/s) ஆதரிக்கிறது.

4. சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு

H2, NH3 மற்றும் TMAl போன்ற வாயுக்களால் ஏற்படும் அரிப்பை எதிர்க்கும் தன்மை கொண்டது, 18 மாதங்களுக்கும் மேலான சேவை வாழ்க்கை கொண்டது.

மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையின் மாற்ற விகிதம் 5% க்கும் குறைவாக உள்ளது (100 செயல்முறை சுழற்சிகளுக்குப் பிறகு சோதிக்கப்பட்டது).

5. உலகளவில் உள்ள முக்கிய மாதிரிகளுடன் இணக்கமானது

50 முதல் 500 மிமீ வரையிலான விட்டத்தில் தனிப்பயனாக்கத்தை ஆதரிக்கிறது.

6. முழு வாழ்க்கை சுழற்சி செலவு உகப்பாக்கம்

பராமரிப்பு சுழற்சி வழக்கமான தயாரிப்புகளை விட மூன்று மடங்கு அதிகமாக நீட்டிக்கப்பட்டுள்ளது.

எபிடாக்சியல் வேஃபர்களின் மகசூல் விகிதம் 2-3% அதிகரித்துள்ளது.

ஐக்ஸ்ட்ரான் கிரக ஏற்பி

நிறுவனத்தின் வலிமை

செமிக்ஸ்லேப் டெக்னாலஜி கோ., லிமிடெட் 2 ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு மையங்கள், 2 உற்பத்தி தளங்கள், 12 உற்பத்தி வரிசைகள், 150+ பணியாளர்கள் மற்றும் 30% க்கும் மேற்பட்ட ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு முதலீட்டைக் கொண்டுள்ளது. எங்கள் தயாரிப்பு அமைப்பு முக்கியமாக LED, IC ஒருங்கிணைந்த சுற்று, மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி, ஒளிமின்னழுத்தம் மற்றும் பிற தொழில்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. செமிக்ஸ்லேப் வலுவான ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டு, உற்பத்தி மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சோதனை மற்றும் சரிபார்ப்பு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது. அதே நேரத்தில், ஆண்டுக்கு பல்லாயிரக்கணக்கான முதலீட்டில் எங்கள் தொழில்நுட்பம் மற்றும் உபகரணங்களை தொடர்ந்து மேம்படுத்தி வருகிறோம்.

விவரக்குறிப்புகள்

முக்கிய செயல்திறன் அளவுருக்கள்

திட்ட அளவுருக்கள்

அடிப்படைப் பொருள் SGL ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தப்பட்ட கிராஃபைட் ஆகும்.

பூச்சு தடிமன்: 80-200μm (தனிப்பயனாக்கக்கூடியது)

பூச்சு தூய்மை ≥99.9999% ஆகும்.

அடர்த்தி: 1.85-1.90 g/cm³

வெப்ப கடத்துத்திறன்: 125 W/m·K (RT)

நெகிழ்வு வலிமை ≥45 MPa

இயக்க வெப்பநிலை ≤1800°C (மந்தமான வளிமண்டலம்)

தர உத்தரவாத அமைப்பு

முழு-செயல்முறை கண்டறியும் தன்மை: கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறிலிருந்து பூச்சு செயல்முறை வரை முழு தரவு பதிவு.

துல்லிய கண்டறிதல்: SEM/EDS பூச்சு பகுப்பாய்வு, ஹீலியம் நிறை நிறமாலை கசிவு கண்டறிதல், உயர் வெப்பநிலை வெப்ப அதிர்ச்சி சோதனை.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) நோக்குநிலை
அடர்த்தி	3.21 g / cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய SiZe	2 ~ 10μ மீ
வேதியியல் தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜெ·கி.கி.^-1·K^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700 ℃
நெகிழ்வான வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்கின் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்தி	300W·m^-1·K^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5 × 10^-6K^-1