குறைக்கடத்தி பொறித்தல் செயல்முறைகளில் CVD பூச்சுகள் எவ்வாறு மாசுபாட்டைக் குறைக்கின்றன

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், மிகச்சிறிய மாசுபாடு கூட பெரிய சிக்கல்களை ஏற்படுத்தும். பொறித்தல் படியின் போது இது மிகவும் உண்மை. இந்த கட்டத்தில், சிறிய துகள்கள் அல்லது மோசமான எதிர்வினைகள் சாதனத்தை சேதப்படுத்தும். அவை எத்தனை நல்ல தயாரிப்புகள் வெளிவருகின்றன என்பதையும் குறைக்கலாம். இந்த சிக்கல்களைக் குறைப்பதற்கான ஒரு வழிCVD (வேதியியல் நீராவி படிவு) பூச்சுகள். இந்த பூச்சுகள் எட்சிங் அறையில் உள்ள பாகங்களைப் பாதுகாக்கின்றன. அவை பொருட்களை சுத்தமாக வைத்திருக்கவும், தேய்மானத்தைத் தடுக்கவும், குறைபாடுகளைக் குறைக்கவும் உதவுகின்றன.

பிளாஸ்மா எட்சிங் அறைகளில் மாசுபாட்டின் சிக்கல்

சில்லுகளை உருவாக்குவதில் பிளாஸ்மா எட்சிங் ஒரு முக்கிய படியாகும், ஆனால் இது ஒரு பெரிய சவாலுடன் வருகிறது: மாசுபாடு. எட்சிங் என்பது வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவைப் பயன்படுத்தி பொருளை துல்லியமாக நீக்குகிறது. ஆனால் இந்த கடுமையான நிலைமைகள் அறையின் பாகங்களையும் சேதப்படுத்தும். பாகங்கள் தேய்மானமடையும் போது, சிறிய துகள்கள் அல்லது செதில்கள் உரிந்து வேஃபர் மேற்பரப்பில் விழும். அது நடந்தவுடன், குறைபாடுகள் உருவாகின்றன - மேலும் இவற்றை பின்னர் சரிசெய்வது பெரும்பாலும் சாத்தியமற்றது.

மாசுபடுவதற்கான பொதுவான காரணம் அறை சுவர்கள் அல்லது பிளாஸ்மாவை நேரடியாகத் தொடும் பாகங்கள் ஆகும். காலப்போக்கில், பிளாஸ்மா இந்த மேற்பரப்புகளுடன் வினைபுரிந்து, மெதுவாக அவற்றை விழுங்குகிறது. இது துகள்கள் அறைக்குள் விழவோ அல்லது தேவையற்ற இரசாயனங்களை உருவாக்கவோ காரணமாகலாம். மென்மையாகத் தோன்றும் பாகங்கள் கூட நுண்ணோக்கியின் கீழ் கரடுமுரடானதாக இருக்கலாம், இதனால் துகள்கள் ஒட்டிக்கொள்ளவோ அல்லது குவியவோ அனுமதிக்கலாம்.

மற்றொரு சிக்கல் செயல்முறை இயக்கங்களுக்கு இடையில் குறுக்கு மாசுபாடு. எடுத்துக்காட்டாக, அறை சுத்தம் செய்யப்படாவிட்டால் அல்லது சரியாக மூடப்படாவிட்டால், ஒரு வேஃபரில் இருந்து மீதமுள்ள பொருட்கள் அடுத்ததில் சேரக்கூடும். சிப் அம்சங்கள் அளவு சுருங்குவதால் இது ஒரு பெரிய பிரச்சனையாக மாறும். ஒரு காலத்தில் ஒரு சிறிய குறைபாடாக இருந்தவை இப்போது மேம்பட்ட முனைகளில் ஒரு முக்கியமான பாதையைத் தடுக்கலாம் அல்லது குறைக்கலாம்.

பல தொழிற்சாலைகள் அறையை அடிக்கடி சுத்தம் செய்வதன் மூலமோ அல்லது பாகங்களை மாற்றுவதன் மூலமோ இதைச் சரிசெய்ய முயற்சிக்கின்றன. ஆனால் இதற்கு நேரமும் பணமும் தேவை. இது முக்கிய பிரச்சனையான பிளாஸ்மாவால் ஏற்படும் சேதத்தையும் சரிசெய்யாது. அதனால்தான் அவர்கள் பாதுகாப்பு பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துகிறார்கள். இந்த பூச்சுகள் அதிகமாக பாதிக்கப்படும் பாகங்களை மூடுவதன் மூலம் சேதம் தொடங்குவதற்கு முன்பே நிறுத்த உதவுகின்றன.

பாதுகாப்புத் தடையாக CVD பூச்சுகள்: செயல்பாட்டில் SiC மற்றும் TaC

மாசுபடுதல் தொடங்குவதற்கு முன்பே அதைத் தடுக்க, பல சிப் தயாரிப்பாளர்கள் இதை நாடுகிறார்கள்CVD பூச்சுகள். சேதம் மற்றும் ரசாயனங்களிலிருந்து பாதுகாக்க அறை பாகங்களில் மெல்லிய அடுக்குகள் சேர்க்கப்படுகின்றன. இந்த வேலைக்கு மிகவும் நம்பகமான இரண்டு பொருட்கள்சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC)மற்றும்டான்டலம் கார்பைடு (TaC)அவை கடினமானவை மட்டுமல்ல - அவை ஆக்கிரமிப்பு பிளாஸ்மா சூழல்களிலும் நிலையானவை.

SiC வெப்பத்தை நன்கு கையாள்வதாலும், வாயுக்களுடன் வினைபுரிவதை எதிர்ப்பதாலும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பாகங்களில் CVD-பூசப்பட்ட SiC எளிதில் தேய்ந்து போகாத வலுவான மேற்பரப்பை உருவாக்குகிறது. பல எட்ச் சுழற்சிகளுக்குப் பிறகும், அது மென்மையாகவும் சுத்தமாகவும் இருக்கும், எனவே குறைவான துகள்கள் வேஃபர்களில் விழுகின்றன.

செதுக்குதல் செயல்முறை இன்னும் கடுமையாக இருக்கும்போது TaC பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது வலுவான பிளாஸ்மாக்கள் மற்றும் கடினமான ஆலசன் வாயுக்களுடன் நன்றாக வேலை செய்கிறது. அதன் அடர்த்தியான அமைப்பு மற்றும் அதிக உருகுநிலை இது அரிப்பை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது. சில மேம்பட்ட கருவிகளில்,TaC பூச்சுகள்உலோக மாசுபாட்டைக் குறைக்க உதவுகிறது. வேகமான லாஜிக் மற்றும் மெமரி சிப்களை உருவாக்குவதற்கு இது முக்கியமானது.

இந்த பூச்சுகள் பிளாஸ்மாவிற்கும் பகுதிக்கும் இடையில் ஒரு தடையை உருவாக்குவதன் மூலம் செயல்படுகின்றன. இது பகுதி நீண்ட காலம் நீடிக்க உதவுகிறது மற்றும் அறையை நிலையாக வைத்திருக்கிறது. இது பொறியாளர்கள் பாகங்களை சுத்தம் செய்யவோ அல்லது மாற்றவோ நிற்காமல் நீண்ட நேரம் ஓட அனுமதிக்கிறது.

உங்கள் தொலைபேசியில் ஒரு திரைப் பாதுகாப்பாளரை வைப்பது போல் நினைத்துப் பாருங்கள். இது தொலைபேசி செயல்படும் விதத்தை மாற்றாது, ஆனால் உங்கள் திரை அவ்வாறு செய்ய வேண்டியதில்லை என்பதற்காக இது வெற்றி பெறுகிறது. படம்:

மேம்படுத்தப்பட்ட எட்சிங் செயல்திறன் மற்றும் குறைக்கப்பட்ட பராமரிப்பு செலவுகள்

CVD பூச்சுகள்SiC மற்றும் TaC போன்றவை பாகங்களைப் பாதுகாப்பாக வைத்திருக்கின்றன, செதுக்குதல் சீராக நடக்க உதவுகின்றன, மேலும் குறைவான சரிசெய்தல் தேவைப்படுவதைக் குறிக்கின்றன. அறை பாகங்கள் நல்ல நிலையில் இருக்கும்போது, செதுக்குதல் மிகவும் சீரானதாக மாறும். இதன் பொருள் அதிக வேஃபர்கள் தர சோதனைகளில் தேர்ச்சி பெறுகின்றன, மேலும் குறைபாடுகள் காரணமாக குறைவானவை தூக்கி எறியப்படுகின்றன.

நிலையான அறை நிலைமைகள் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய முடிவுகளுக்கு முக்கியமாகும். பூச்சுகள் இல்லாமல், அறை பாகங்கள் மெதுவாக தேய்ந்து போகின்றன. இது வாயு ஓட்டம், வெப்ப பரவல் மற்றும் பிளாஸ்மா நடத்தையை மாற்றலாம். இந்த மாற்றங்கள் முதலில் சிறியதாக இருக்கலாம், ஆனால் காலப்போக்கில் வெவ்வேறு முடிவுகளுக்கு வழிவகுக்கும். பூசப்பட்ட பாகங்கள் அறையை ஒரு வேஃபரிலிருந்து அடுத்த வேஃபருக்கு மேலும் கணிக்கக்கூடியதாக வைத்திருப்பதன் மூலம் இதைத் தவிர்க்க உதவுகின்றன.

கூடுதலாக, CVD-பூசப்பட்ட பாகங்கள் நீண்ட காலம் நீடிக்கும், பின்னர் மாற்றப்பட வேண்டும். பூசப்படாத கருவிகளை சுத்தம் செய்வதற்கு அதிக நிறுத்தங்கள் தேவைப்படுகின்றன, இதனால் தாமதங்கள் ஏற்படுகின்றன. பூசப்பட்ட பாகங்கள் நீண்ட காலம் நீடிக்கும், இது வேலையில்லா நேரத்தையும் கூடுதல் வேலையையும் குறைக்கிறது.

நிஜ உலக ஃபேப்கள் இந்த பலனைக் கண்டிருக்கின்றன. உதாரணமாக, ஒரு சிப் தயாரிப்பாளர் சாதாரண அலுமினியத்திற்குப் பதிலாக SiC-பூசப்பட்ட மோதிரங்களைப் பயன்படுத்தினார், இதனால் 40% நீண்ட இயக்க நேரம் கிடைத்தது. இது செயலிழந்த நேரத்தைக் குறைத்து, வேஃபர் விளைச்சலை மேலும் நிலையானதாக வைத்திருந்தது.

இது "முன்பே கொஞ்சம் அதிகமாகச் செலவு செய்து, காலப்போக்கில் நிறைய சேமிக்கவும்" என்பதற்கான தெளிவான எடுத்துக்காட்டு. CVD பூச்சுகள் பாகங்களைப் பாதுகாப்பாகவும் சுத்தமாகவும் வைத்திருக்கின்றன, இதனால் பொறியாளர்கள் பொருட்களைச் சரிசெய்வதில் அல்ல, வேலையில் கவனம் செலுத்த முடியும்.

உங்கள் எட்ச் சிஸ்டத்திற்கான செமிக்ஸ்லாப்பின் பூச்சு திறன்களை ஆராயுங்கள்.

உங்கள் எட்ச் அமைப்பிலிருந்து அதிகப் பலன்களைப் பெற விரும்பினால், பொருட்கள் மற்றும் செயல்முறையை அறிந்த ஒருவருடன் இணைந்து பணியாற்றுவது உதவியாக இருக்கும். செமிக்ஸ்லாப், SiC மற்றும் TaC போன்ற CVD பூச்சுகளை உருவாக்குகிறது, இது எட்ச்சிங் கருவிகளுக்காக தயாரிக்கப்பட்டு உண்மையான தொழிற்சாலைகளில் சோதிக்கப்படுகிறது.

செமிக்ஸ்லாப்பை வேறுபடுத்துவது அவர்களின் தனிப்பயன் சேவை. அலுமினிய மோதிரங்கள் அல்லது கிராஃபைட் கேரியர்கள் போன்ற பல வடிவங்கள் மற்றும் பாகங்களை அவர்கள் பூசலாம். பூச்சுகள் மென்மையானவை, வலிமையானவை மற்றும் உங்கள் தேவைகளுக்கு ஏற்றவாறு செய்யப்படுகின்றன. அனைத்து பூச்சு வேலைகளும் சுத்தமான, கட்டுப்படுத்தப்பட்ட அறைகளில் செய்யப்படுகின்றன, எனவே புதிய அழுக்கு அல்லது துகள்கள் உள்ளே வராது.

பல ஃபேப்கள் பயன்படுத்தப்பட்ட பாகங்களை முழுவதுமாக மாற்றுவதற்குப் பதிலாக மீண்டும் பூசுவதற்கு அனுப்புகின்றன. இந்த அணுகுமுறை பணத்தை மிச்சப்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், கழிவுகளைக் குறைக்கவும் உதவுகிறது. செமிக்ஸ்லேப் ஒவ்வொரு பாகமும் இன்னும் வலுவாக இருப்பதை உறுதிசெய்ய சரிபார்க்கிறது. அது கடந்து சென்றால், அவர்கள் அதை சுத்தம் செய்து, பூசி, திருப்பி அனுப்புகிறார்கள் - மீண்டும் பயன்படுத்தத் தயாராக. இது பாகங்கள் செயல்திறனை இழக்காமல் நீண்ட காலம் நீடிக்க உதவுகிறது.

Semixlab உடன் பணிபுரியும் பொறியாளர்கள் பூச்சுகளை விட அதிகமாகப் பெறுகிறார்கள். உங்கள் வாயுக்களுக்கு எந்தப் பொருள் பொருந்துகிறது என்று தெரியவில்லையா? உங்கள் பிளாஸ்மாவுடன் இது எவ்வளவு காலம் நீடிக்கும் என்பதை அறிய விரும்புகிறீர்களா? அவர்களின் குழு அதைச் சோதிக்கலாம் அல்லது நீங்கள் தேர்வுசெய்ய உதவும் தரவைச் சரிபார்க்கலாம்.

நீங்கள் பூசப்பட்ட பாகங்களை முயற்சிக்க விரும்பினால், இப்போது எவ்வளவு நேரம் மற்றும் வேஃபர்களை இழக்கிறீர்கள் என்பதைச் சரிபார்க்கவும். பூச்சுகள் இரண்டையும் சேமிக்க உதவும்.